计量泵 计量阀 自旋查克系列 SAWATEC的自旋查克系列为所有衬底尺寸和衬底材料提供了合适的选择。为了实现**的涂层,提供了各种尺寸、材料和设计的自旋锁。视应用程式而定,可使用光学置中辅助装置来应用一组或两组自旋锁。 为了防止基板背面受到污染,旋转查克尺寸的*佳选择以及特殊的查克设计至关重要。更换自旋锁**简单,不需要工具。 为了使旋转模块正常运行并实现高一致性,只使用原SAWATEC旋转chucks是很重要的。使用外部品牌自旋恰奇时,SAWATEC无法保证指定的技术规格和工艺**。 SAWATEC AG是一家**的瑞士高科技公司,成立于1996年。该公司由Sawatzki Engineering和Bruno Sawatzki两家公