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2020-06-18 12:46

维修美国VIEW 全自动影像仪

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维修美国VIEW 全自动影像仪

MicroLine-300是一款桌上型半自动CD测量系统。

主要技术参数:

◆    测量范围(XYZ):标准:200×200×25mm;可选:300x300x25
◆    视场内测量精度:10nm(100X 镜头);Z轴聚焦范围:25 mm
◆    视场内测量范围:0.5um~400um;
◆    视场内测量重复性(100x 物镜):  晶圆上<0.010um(1δ);
                                                    掩模板上0.005um(1δ);   
◆    承重:2kg
◆    标配镜头10x,可选镜头:5X, 20X, 50X, 100X 
MicroLine 系列 主要用于测量半导体、MEMS 晶圆、光刻掩模板等尺寸和涂覆物(多层套刻、圆、对接误差等)量测。
MicroLine 临界尺寸测量系统设计应用于半导体和MEMS晶圆以及光掩模CD量测。Microline 系列可自动测量线宽,迭置重合,和其他关键尺寸。
MicroLine 装备有高性能光学显微镜,高精度运动平台,可测量0.5 微米到400 微米大小的产品,测量精度和重复性在10nm (1  σ ,100倍物镜)。
 


北京泰科瑞迪——维修业务简介


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进口测试仪器维修服务中心
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