维修美国VIEW 全自动影像仪
MicroLine-300是一款桌上型半自动CD测量系统。
主要技术参数:
◆ 测量范围(XYZ):标准:200×200×25mm;可选:300x300x25
◆ 视场内测量精度:10nm(100X 镜头);Z轴聚焦范围:25 mm
◆ 视场内测量范围:0.5um~400um;
◆ 视场内测量重复性(100x 物镜): 晶圆上<0.010um(1δ);
掩模板上0.005um(1δ);
◆ 承重:2kg
◆ 标配镜头10x,可选镜头:5X, 20X, 50X, 100X
MicroLine 系列 主要用于测量半导体、MEMS 晶圆、光刻掩模板等尺寸和涂覆物(多层套刻、圆、对接误差等)量测。
MicroLine 临界尺寸测量系统设计应用于半导体和MEMS晶圆以及光掩模CD量测。Microline 系列可自动测量线宽,迭置重合,和其他关键尺寸。
MicroLine 装备有高性能光学显微镜,高精度运动平台,可测量0.5 微米到400 微米大小的产品,测量精度和重复性在10nm (1 σ ,100倍物镜)。
北京泰科瑞迪——维修业务简介
北京泰科瑞迪“测试仪器维修检测中心”,中心各类测试仪器维修检测设备配置齐全。北京泰科瑞迪能维修各种进口的分析仪表,尤其对化学分析仪器具有丰富的维修经验。北京泰科瑞迪与各大测试仪器厂商有着良好的业务往来,有着充足的原厂仪器配件。北京泰科瑞迪拥有多名具有丰富维修经验、职业道德良好的专业维修工程师,承接各类进口测试仪器的维修及保养业务。北京泰科瑞迪提供一站式mro服务,不管是产品销售还是维修服务,我们都会本着“服务第一”的原则,为客户提供优质、快捷、热情的服务。以“保证质量、讲究效率、价格合理”的服务原则,积累了广大客户的赞誉和信任,欢迎更多用户与我们达成仪器维修与保养的长期合作协议,我们将为您提供快捷、高效、实惠的仪器维修服务。